第66章 双工件台

凌晨一点,星辰光刻总装车间。

那台已经立起骨架的EUV光刻机样机,安静地矗立在防震地基上。工件台在真空腔里缓缓移动,发出极轻的嗡鸣。

王磊盯着屏幕上跳动的数据,脸色越来越沉。

"第43次联调,开始。"

"工件台Y轴移动,误差——3.18纳米。"

"X轴,误差——3.24纳米。"

"未达标。要求精度:0.5纳米。"

机械的女声,在车间里回荡。

王磊摘下耳机,一拳砸在操作台上:"差一个数量级!怎么调都压不下去!"

桌角的咖啡杯被震得跳了一下,洒出几滴褐色的液体。车间里,几个工程师面面相觑,谁都没敢接话。

"老陈,"王磊抬起头,眼底全是血丝,"这已经是第43次了。再这么调下去,三十天的联调计划,全得泡汤。"

陈博士叹了口气,正要开口,苏宇的声音先一步响起:"把数据打出来,我看看。"

苏宇站在他身后,盯着那组数据,沉默了很久。

"问题出在哪?"他问。

"测量基准。"陈博士走过来,推了推眼镜,"工件台的对准精度,取决于测量基准的稳定性。我们的基准台,热膨胀系数超标——温度波动零点一度,误差就放大一倍。"

"国外那几家能做高精度基准台的公司,"王磊接过话头,声音发苦,"全在芯片联盟的封锁名单里。艾斯摩尔当年造工件台,用了德国顶级精机厂的部件。我们——买不到。"

"买不到就造。"苏宇说。

"造不了。"陈博士摇头,"这东西,难的不是图纸,是加工精度。国内能加工这种等级零件的小厂,屈指可数。而且基准台的材料,本身就是个世界级难题。"

苏宇没有说话,只是走到工件台前,蹲下身,看着那台精密机器的底座。

芯片联盟的封锁,一环扣一环。

光源,他们断零部件。

材料,他们断原材料。

现在,连一台测量基准台,他们都不肯给。

"陈博士,基准台的技术路线,你今晚给我一份可行性报告。"苏宇站起身,"国内找不到的,我们就找国内最好的脑子。"

回到办公室,天已经蒙蒙亮。

苏宇靠在椅背上,揉了揉眉心,意识沉入系统图纸库,检索"高精度测量基准台"。

【检索结果:超高精度测量基准台技术图纸——存在。核心难点:低热膨胀材料与纳米级平面加工,国内供应链部分覆盖,需精密仪器领域专家协同。】

精密仪器……

苏宇睁开眼,正要给陈院士打电话,手机却先一步亮了。是夏若雪发来的消息,只有一句:"还在公司?"

苏宇回了一个"嗯"。

三分钟后,办公室的门被轻轻推开。夏若雪端着一碗热粥走进来,白裙上还沾着一点墨迹——她大概也是在实验室里熬了夜。

"听说工件台卡住了。"她把粥放在桌上,轻声说,"你两天没回家了。"

苏宇端起粥,喝了一口,忽然问:"若雪,你这两天,是不是也一直在实验室里泡着?"

"嗯。"夏若雪下意识地擦了擦袖口上那点墨迹,"清源那边,有个水质监测的项目,正好到关键阶段。"

"熬夜了?"

"还好。"她笑了笑,"倒是你——工件台的事,别太熬。身体要紧。"

苏宇放下粥,伸手替她理了理鬓角散落的一缕发丝:"等我忙完这阵,带你出去走走。"

夏若雪耳朵一红,轻轻"嗯"了一声。

"嗯。"苏宇没有否认,"难点在测量基准。进口的被封锁,国内又找不到能造的厂。"